虚数科技芯片缺陷视觉检测

虚数科技numimag
2023-03-20
来源:虚数科技numimag

处理芯片商品制作离不了晶圆原材料的适用,晶圆就需要机械设备电抛光来提高表面的电阻率,根据机械设备电抛光可以获得像小镜子一样光四射的晶圆表面。但由于晶圆在打磨时表面最开始没那么整齐,因而磨擦过程中需要造成残留硅片滞留抛光布上,要是没有能够及时检验并清除这种残片,会让晶圆产品品质造成危害,影响到了成品合格率。晶圆的制作中有一步很关键的流程——机械设备电抛光,它可以有效提升晶圆的表面光滑度进而提升导电性,而虚数科技芯片缺陷视觉检测就在这一步关键工艺中。

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视觉效果缺陷检测系统软件又被称为工业视觉系统,便是机器代替人工做各种各样测量分辨。它结合了电子光学、机械设备、电子器件、计算机设备等方面技术性。牵涉到电子计算机图像处理,系统识别、人工智能技术、信号分析,光机电一体化等诸多领域。图像处理和图像处理等技术的不断发展,在很大程度上促进了机器视觉行业运用的发展趋势。

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虚数科技芯片缺陷视觉检测都是基于先进封装晶圆表面图象,运用相对应技术实现硅片表面的缺陷检测;光学元件关键从高分辨率CCD相机、光学设备和多方位彩色光源构成,具有明场和暗场等各个照明灯具方式,光波长及色度可调式,可以满足多种多样晶圆表面缺陷检测要求;根据高精密、高速运行运动平台相互配合照相机同歩扫描仪快速获得硅片图象。机器设备选用快速图象分布式系统并行处理处理工艺、无图案设计硅片图像处理及缺陷检测优化算法、有图案设计硅片图像处理及缺陷检测优化算法、硅片缺陷svm算法及随机森林算法。

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